——多模態(tài)臨界尺寸測量和薄膜計量學(xué)FilmTekTMCD光學(xué)臨界尺寸系統(tǒng)是我們解決方案,可用于1xnm設(shè)計節(jié)點及更高級別的全自動化、高通量CD測量和高級薄膜分析。該系統(tǒng)同時提供已知和*未知結(jié)構(gòu)的實時多層堆疊特性和CD測量。FilmTekCD利用多模測量技術(shù)來滿足與開發(fā)和生產(chǎn)中復(fù)雜的半導(dǎo)體設(shè)計特征相關(guān)的挑戰(zhàn)性需求。這項技......